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类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜具有硬度高、摩擦系数低以及良好的化学稳定性,是性能优异的保护层材料。但DLC薄膜因其具有高的内应力,很难制备出较厚的薄膜,否则会导致膜层脱落或者引起镀膜工件变形,从而限制了DLC薄膜的广泛应用。
多层类金刚石薄膜力学性能研究
【摘 要】
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类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜具有硬度高、摩擦系数低以及良好的化学稳定性,是性能优异的保护层材料。但DLC薄膜因其具有高的内应力,很难制备出较厚的薄膜,否则会导致膜层脱落或者引起镀膜工件变形,从而限制了DLC薄膜的广泛应用。
【机 构】
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表面工程技术国家级重点实验室,兰州物理研究所,兰州,730000
【出 处】
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第十一届国际真空冶金与表面工程学术会议、2013年真空工程学术会议暨2013年真空咨询学术会议
【发表日期】
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2013年2期
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