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中子深度分析(Neutron depth profiling,NDP)是中子活法分析的一种,也属于物质近表面无损分析技术.NDP 的原理是利用热(冷)中子与基体物质中目标核素发生的核反应,如(n,p)或(n,α)反应,释放出具有特定动能的离子,离子穿透基体物质时会损失能量,通过测量离子的剩余能量能谱,并对其进行解析、反演计算,得到目标核素浓度沿基体物质表面深度的分布,其深度分辨率可以达到微米甚至几十纳米,在半导体材料、能源材料等领域的应用广泛.