【摘 要】
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共聚焦激光扫描显微镜的发展在国外(主要为日本)是从80年代末期开始的,目前在日本,已经是一种被广泛采用的技术,既用来观察样品表面亚μm程度(0.2μm)的三维形态和形貌,又可
【机 构】
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共聚焦激光扫描显微镜的发展在国外(主要为日本)是从80年代末期开始的,目前在日本,已经是一种被广泛采用的技术,既用来观察样品表面亚μm程度(0.2μm)的三维形态和形貌,又可以测量多种微小的尺寸,诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长度、线粗糙度、面粗糙度等等.另外,它还有以下特点:1、使用方便,与一般光学显微镜相似,且全部采用计算机直观控制.2、基本无须制样,不损伤样品,不需要优质导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,完全不破坏样品.3、几十秒到一两分钟即完成全部的扫描,成像,测量采样工作.因此,作为一种新的检测仪器,也是SEM的一种补充,CF-LSM越来越受到重视.
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