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在本工作中,我们用直流反应磁控溅射法在不锈钢基体上沉积了TiAlSiN/Si3N4和TiSiN/Si3N4光热吸收涂层,在这类光热涂层系统中,TiAlSiN/TiAlN或者TiSiN/TiN作为主/次吸收层,而Si3N4作为减反层。
用直流反应磁控溅射法在不锈钢基体上沉积的TiAlSiN/Si3N4和TiSiN/Si3N4涂层的选择性吸收特性
【摘 要】
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在本工作中,我们用直流反应磁控溅射法在不锈钢基体上沉积了TiAlSiN/Si3N4和TiSiN/Si3N4光热吸收涂层,在这类光热涂层系统中,TiAlSiN/TiAlN或者TiSiN/TiN作为主/次吸收层
【机 构】
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山东大学 材料液固结构演变与加工教育部重点实验室,山东 济南 250061
【出 处】
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第十四届全国青年材料科学技术研讨会
【发表日期】
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2013年期
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