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本文设计和制备了基于AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管(HEMT)的高速电调控太赫兹调制器。器件主要由压控HEMT 单元阵列和金属性频率选择表面结构组成,HEMT 作为可调控元件其电导可通过施加栅压进行灵敏调控,频率选择表面结构形成的滤波器将决定调制器的工作频率范围。