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将ZnO材料作为活性应用到薄膜晶体管(TFT)中,做成的器件具有十分优异的性能,逐渐受到更多的研究和关注.本文论述了ZnO材料的基本性质、ZnO-TFT的结构与工作原理,并分析了ZnO-TFT的性能参数,指出了ZnO-TFT的性能优点与存在问题.
ZnO-TFT研究进展
【摘 要】
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将ZnO材料作为活性应用到薄膜晶体管(TFT)中,做成的器件具有十分优异的性能,逐渐受到更多的研究和关注.本文论述了ZnO材料的基本性质、ZnO-TFT的结构与工作原理,并分析了ZnO-TFT的性能参数,指出了ZnO-TFT的性能优点与存在问题.
【机 构】
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北京交通大学光电子技术研究所,发光与光信息技术教育部重点实验室,北京,100044 辽宁大学物理系
【出 处】
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2006中国平板显示学术会议
【发表日期】
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2006年4期
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