介质移相器用铁电薄膜研究

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【摘要】

：

<正>作为介质移相器用的铁电薄膜材料,必须具有介电常数大、非线性强、介质损耗小、漏电流低等特性。采用射频磁控溅射法制备了介质移相器用钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,简称BST

【作者】

：

杨传仁陈宏伟张继华姬洪王波贺伟唐海军

【机构】

：

电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;

【发表日期】

：

2004年期

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<正>作为介质移相器用的铁电薄膜材料,必须具有介电常数大、非线性强、介质损耗小、漏电流低等特性。采用射频磁控溅射法制备了介质移相器用钛酸锶钡(Ba_0.6Sr_0.4TiO₃,简称BST)铁电薄膜。在对BST薄膜制备工艺研究的基础上,通过对临界晶粒尺寸、界面效应、纳米线自组装现象、择优取向、可靠性、X射线衍射的研究,对BST薄膜进行性能优化,并设计和制作介质移相器。主要研究结果如下:

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