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乙硼烷在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气已得到越来越广泛的应用，随着大规模集成电路集成度的提高，对乙硼烷纯度的要求也越来越高。因此，本文概述了高纯乙硼烷的制备、提纯工艺、分析方法及性能指标。
乙硼烷的纯化工艺及分析方法
【摘 要】
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乙硼烷在半导体工业中作为成膜、外延和掺杂用气已得到越来越广泛的应用，随着大规模集成电路集成度的提高，对乙硼烷纯度的要求也越来越高。因此，本文概述了高纯乙硼烷的制备、提纯工艺、分析方法及性能指标。
【机 构】
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光明化工研究设计院 大连 116031
【出 处】
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《低温与特气》百期庆典暨低温与气体技术交流大会
【发表日期】
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2004年5期
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