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本文提出了用图象处理与分析的方法,对微小尺寸进行测量,阐明了用该方法的基本原理.同时提出了使用该方法的硬件组成,软件流程,并论证了使用该方法的高效,准确,实用的优点.
微小尺寸检测图象处理系统的研究
【摘 要】
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本文提出了用图象处理与分析的方法,对微小尺寸进行测量,阐明了用该方法的基本原理.同时提出了使用该方法的硬件组成,软件流程,并论证了使用该方法的高效,准确,实用的优点.
【机 构】
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上海理工大学
【出 处】
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2002年全国电子测控工程学术年会
【发表日期】
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2002年8期
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