Evaluation of the Mirror Surface Figure Error Based on the Slope RMS

来源 :第十届全国激光技术与光电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangwenda_gz
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  The slope of the root mean square(SlopeRMS)can be applied to evaluate mid-spatial frequency mirror surface errors for larger aperture mirrors.In this paper,the SlopeRMS is analyzed from three different perspectives.Firstly,the relationship between the SlopeRMS and the basis polynomials is discussed,and the mathematic relationship between the SlopeRMS and the standard orthogonal basis was obtained.Secondly,the SlopeRMS is analyzed by applying the Wiener process,with the results indicating that the ideal mirror surface error obeys the Gauss distribution law.
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