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碳及碳化硅复合材料(如C/C 复合材料)具有众多优异的性能，在众多领域具有广泛的应用。先进的热工装备是实现高性能碳及碳化硅复合材料制备工艺的基础条件，是我国制造业重点发展的方向之一。本文根据碳及碳化硅复合材料材料的工艺需求，对预氧化、化学气相沉积、炭化和石墨化等热工装备的技术现状进行了分析，为进一步改进碳及碳化硅复合材料制造方法和设备提供参考依据。