【摘 要】
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氢氧化四甲基铵(TMAH)在半导体与光电等电子高科技产业制程中,作为显影剂或除污清洁而大量使用.但是2003年及2007年在台湾发生因TMAH喷溅2起之重大职灾案例,死亡人数共3人,而
【机 构】
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中山医学大学职业安全卫生学系,中国台湾台中中山医学大学职业安全卫生学系,中国台湾台中;中山医学大学附设医院职业医学科,中国台湾台中中国医药大学附设医院毒物科,中国台湾台中台湾长荣大学职业安全卫生学系,
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氢氧化四甲基铵(TMAH)在半导体与光电等电子高科技产业制程中,作为显影剂或除污清洁而大量使用.但是2003年及2007年在台湾发生因TMAH喷溅2起之重大职灾案例,死亡人数共3人,而2011年在韩国亦造成1人死亡.事故引起各界对TMAH溶液化学品危害预防的重视,并积极探讨中毒急救方法.本研究针对TMAH之理化特性与毒性作用方式,透过动物实验模式验证可推展至现场应用之危害预防与非侵入式之紧急处理模式,避免因意外碰触到高剂量TMAH而导致劳工中毒甚至死亡.结果显示皮肤较大面积与TMAH接触时,会在15～30min内产生急性中毒,甚至呼吸停止死亡.故针对TMAH中毒患者,院前急救处理原则为迅速并加强除污冲洗,减少毒性物质吸收和皮肤黏膜灼伤.动物试验研究显示在短时间内尽速且正确地以大量清水冲洗除污将有助于缓解毒性效应.若使用以N-acetyl-cysteine(NAC)乙酰基半胱胺酸及glutathione(GSH)榖胱甘肽溶液以体外涂抹并搭配清水冲洗暴露区域,亦可显著而有效地降低TMAH经皮肤吸收之浓度,提高动物存活时间与存活率.建议在TMAH危害预防工作中,首先建立危害控制与工程管理,包括为防止TMAH泄漏意外的发生,系统外的所有阀件及管件应配有耐蚀性箱体作二重防漏保护或双套管设计; 系统内部及配管连接点设置Leak Sensor,测知漏液可紧急停止系统.在行政管理层次,则须建立标准作业程序,劳工从事TMAH处置作业时应制订操作设备之自动检查计划,依风险管理分级,选配适当之个人防护用具.
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