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本研究采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,采用静电模型,运用有限差分法求解泊松方程,应用Visual Fortran语言编写了全三维的直流辉光放电过程的模拟程序,得到了直流辉光放电过程中电子与离子的相空间分布、能量分布等特性。粒子间的碰撞主要考虑了电子与中性粒子、离子与中性粒子间的碰撞。