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新型电子束曝光机的对准软件设计

来源 :第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hyron2005

【摘 要】

：

介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.

【作 者】

：

张今朝 方光荣 

【机 构】

：

中国科学院电工研究所,北京,100080

【出 处】

：

第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会

【发表日期】

：

2005年期

【关键词】

：

电子束曝光机 软件设计结构 设计方案 扫描电镜 对准系统 扫描场 校正 

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介绍了基于扫描电镜的电子束曝光机的对准软件设计,详细分析了此类曝光机对准系统的设计方案,软件设计结构以及扫描场的校正过程.

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