硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用

来源 :第二届全国信息获取与处理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zanyunfeng

【摘要】

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在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以

【作者】

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佟建华刘梦伟崔岩董维杰崔天宏王立鼎王兢

【机构】

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大连理工大学微系统研究中心(大连)

【出处】

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第二届全国信息获取与处理学术会议

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

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在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以产生表面感应电荷,借此测量外界力和压力的大小,形成传感单元.这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明.

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