【摘 要】
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MEMS惯性器件的具有体积小、重量轻、成本低、可集成性强等优势。然而,高精度的MEMS惯性器件如MEMS陀螺仪、MEMS谐振式加速度计需要工作在高真空、低应力环境中。采用金属管
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MEMS惯性器件的具有体积小、重量轻、成本低、可集成性强等优势。然而,高精度的MEMS惯性器件如MEMS陀螺仪、MEMS谐振式加速度计需要工作在高真空、低应力环境中。采用金属管壳对高精度MEMS惯性器件进行真空封装将占用60~80%的制造成本,同时造成整表体积增大,使得MEMS惯性器件的优势降低。MEMS全硅化圆片级真空封装技术将MEMS惯性器件的真空封装流程和MEMS工艺加工流程进行整合,实现了MEMS惯性器件的零级真空封装。目前,国外主流的MEMS工艺厂商以及器件厂商已经广泛采用全硅化的MEMS圆片级真空封装技术进行高精度惯性产品的设计、开发、生产。本文对国内外相关技术领域,特别是产业届的技术进展进行了调研分析,并展望了未来MEMS圆片级真空封装的发展趋势,为我国下一代高精度MEMS惯性器件的研发,以及MEMS惯性微系统异构集成技术的发展提供支持。
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