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介绍了利用高灵敏度四角限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统.详细分析了其测试原理及实验装置,测试系统利用半导体激光器做光源,采用了偏振分光器件,结构小巧,能量利用率高,具有较高的测量精度.为小角度测试技术的研究提出了一种新的方法.
四象限光电探测用于二维小角度测量的研究
【摘 要】
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介绍了利用高灵敏度四角限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统.详细分析了其测试原理及实验装置,测试系统利用半导体激光器做光源,采用了偏振分光器件,结构小巧,能量利用率高,具有较高的测量精度.为小角度测试技术的研究提出了一种新的方法.
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系(北京)
【出 处】
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中国仪器仪表学会第四届青年学术会议
【发表日期】
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2002年12期
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