【摘 要】
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本文介绍发展了一种扫描探针显微镜(SPM)与扫面电子显微镜(SEM)联合测试系统,将SPM集成到SEM样品室内,两种仪器有机的结合,实现了仪器功能互补.本文重点介绍了该系统基于SPM微悬臂梁探针的原位三点弯曲和纳米压痕纳米力学测试方法和技术,该系统成为针对单体纳米材料定量力学性能原位测试与表征,以及纳米力学性能与微观结构相关性研究与表征的综合实验平台.
【机 构】
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北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京 100124 北京工业大学固体微结构与性能研究所,北京
【出 处】
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第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
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本文介绍发展了一种扫描探针显微镜(SPM)与扫面电子显微镜(SEM)联合测试系统,将SPM集成到SEM样品室内,两种仪器有机的结合,实现了仪器功能互补.本文重点介绍了该系统基于SPM微悬臂梁探针的原位三点弯曲和纳米压痕纳米力学测试方法和技术,该系统成为针对单体纳米材料定量力学性能原位测试与表征,以及纳米力学性能与微观结构相关性研究与表征的综合实验平台.
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