【摘 要】
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本文主要针对波长248nm准分子激光对聚碳酸酯(PC polycarbonate)刻蚀性能的实验研究.着重讨论了准分子激光对于该种聚合物的刻蚀机理,并通过对不同能量密度情况下得到的不同刻蚀深度的实验结果进行分析计算,得出聚碳酸酯材料对波长248nm激光的吸收系数及其刻蚀的能量阈值.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
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本文主要针对波长248nm准分子激光对聚碳酸酯(PC polycarbonate)刻蚀性能的实验研究.着重讨论了准分子激光对于该种聚合物的刻蚀机理,并通过对不同能量密度情况下得到的不同刻蚀深度的实验结果进行分析计算,得出聚碳酸酯材料对波长248nm激光的吸收系数及其刻蚀的能量阈值.
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