高频氧化硅机电源效率及单位膜体积耗电分析

来源 :第五届广东铝加工技术国际研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaozhu222
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本文通过理论计算和记录实际记录耗电量,对比分析了高频硅机与普通硅机效率及单位膜体积耗电情况,以及高频硅机省电规律。
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