He离子注入GaAs晶体的辐照损伤特性研究

来源 :第十三届全国正电子谱学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinzhichaoniao
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  GaAs作为近年来应用于光电器件及探测器等领域的重要材料,它的光学电学等物理特性在很大程度上受到其晶体结构及缺陷的影响。有意或无意的粒子辐照都可能引入包括点缺陷,位错等等晶格的缺陷损伤,从而影响器件的光电性质。
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