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输能窗是太赫兹电真空器件一个非常关键的部件。它需要有良好的匹配性能使得太赫兹波能够顺利进入慢波结构与电子注发生互作用并将放大的太赫兹波输出。同时它还必须有有良好的封接性能保证器件结构可靠和真空密封。金刚石材料具有低的介电常数、小的微波损耗、良好的导热性能，成为太赫兹电真空器件发展过程中一种非常有研究和应用价值的材料。本文介绍了微波辅助化学气象沉积(MPCVD)金刚石材料的制备过程、封接工艺、在太赫兹电真空器件中的具体应用实例以及在W波段行波管中的实际应用情况。