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基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.
微加速度传感器的研究现状及发展趋势
【摘 要】
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基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状
【机 构】
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重庆大学,光电工程学院,重庆,400044
【出 处】
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2004第四届精密工程学术研讨会
【发表日期】
：
2004年期
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