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本文报道了可用于水中的微型绝压传感器的研发及正弦波动态标定的结果，指出化学沉积聚对二甲苯薄膜是一种实用性较好的封装方法。
微型绝对压力传感器的封装与动态频响
【摘 要】
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本文报道了可用于水中的微型绝压传感器的研发及正弦波动态标定的结果，指出化学沉积聚对二甲苯薄膜是一种实用性较好的封装方法。
【机 构】
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昆山双桥传感器研究所；昆山；江苏；215325 北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
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中国兵工学会第十四届测试技术年会暨中国高等教育学会第二届仪器科学及测控技术年会
【发表日期】
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2008年5期
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