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玻钝芯片外观不良改善
玻钝芯片外观不良改善
被引量 : 0次 | 上传用户:dd100
【摘 要】
:
针对玻璃钝化保护二极管芯片(简称GPP芯片)表面存在浮胶、玻璃点等外观不良进行工艺改善,通过增加光刻胶胶膜厚度及优化沟槽腐蚀工艺改善了芯片浮胶不良,通过改善喷砂后氧化
【作 者】
:
刘长蔚
【机 构】
:
天津市中环领先材料技术有限公司;
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
玻璃钝化保护二极管芯片
浮胶
玻璃点
氧化前处理
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针对玻璃钝化保护二极管芯片(简称GPP芯片)表面存在浮胶、玻璃点等外观不良进行工艺改善,通过增加光刻胶胶膜厚度及优化沟槽腐蚀工艺改善了芯片浮胶不良,通过改善喷砂后氧化前处理工艺,改善了芯片玻璃点异常,提升了良率,提高了产品品质。
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