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微机电系统(MEMS)是目前极具发展潜力的一个学科。本文总结了其发展历程，对微型传感器与微型执行器两关键元件作了概述，并详细说明了MEMS在航空航天、消费移动电子、光学、生物医学，特别是在射频微机电领域的应用情况与发展现状，同时展望了MEMS在多个领域的发展前景。
MEMS--从开始到现在
【摘 要】
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微机电系统(MEMS)是目前极具发展潜力的一个学科。本文总结了其发展历程，对微型传感器与微型执行器两关键元件作了概述，并详细说明了MEMS在航空航天、消费移动电子、光学、
【机 构】
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Key Laboratory of Electronic Equipment Structure Design, Ministry of Education,Xidian University, Xi
【出 处】
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中国电子学会第十八届青年学术年会
【发表日期】
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2012年期
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