【摘 要】
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本海报介绍了一套光学兼容的超高真空扫描探针显微镜(SPM)系统的设计和搭建.整套系统由5 个腔室组成，结构紧凑、功能完善，可完成从样品/针尖的快速装载、样品/针尖的退火及离子束轰击清理、金属及有机材料的分子束外延(MBE)生长，以及原位STM/AFM 表征.由两个操作台、两根磁力杆和一只机械手组成的样品传递机构，能够实现超高真空环境下样品/针尖在各个腔室之间的无缝传接.MBE 生长腔最多可同时安装
【机 构】
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中国科学院物理研究所,北京,100190 中国科学院大学,北京,100149
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本海报介绍了一套光学兼容的超高真空扫描探针显微镜(SPM)系统的设计和搭建.整套系统由5 个腔室组成，结构紧凑、功能完善，可完成从样品/针尖的快速装载、样品/针尖的退火及离子束轰击清理、金属及有机材料的分子束外延(MBE)生长，以及原位STM/AFM 表征.由两个操作台、两根磁力杆和一只机械手组成的样品传递机构，能够实现超高真空环境下样品/针尖在各个腔室之间的无缝传接.MBE 生长腔最多可同时安装6 支蒸发源，结合大面积无氧铜冷屏和高能电子衍射仪(RHEED)，可完成多种材料的洁净外延生长以及对生长过程的实时观测.采用三维机械建模和有限元分析方法所设计的杜瓦型低温恒温器，为系统提供最低至液氦温区的低温环境，并同时能达到极低的振动和液氦消耗量.自制的基于Pan 型结构的扫描探头，集成了qPlus AFM 功能，可在XYZ 三个方向上实现毫米级大范围移动，并针对光学实验进行了大量的优化和改进，可实现对针尖-样品结处光信号的有效引入和收集.该系统的设计和搭建工作是在科技部“重大科学仪器设备开发专项”的资助下开展的.
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