论文部分内容阅读
本文对目前超大规模集成电路钨化学机械抛光(CMP)原理及工艺的一些问题进行了分析,并对用于钨CMP的抛光液进行了研究.
VLSI钨插塞化学机械抛光的研究
【摘 要】
：
本文对目前超大规模集成电路钨化学机械抛光(CMP)原理及工艺的一些问题进行了分析,并对用于钨CMP的抛光液进行了研究.
【机 构】
：
河北工业大学微电子技术与材料研究所(天津)
【出 处】
：
第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
：
2003年期
其他文献
【摘 要】本文从幼儿师范学校幼师生英语普遍较差和学前教育注重英语教育这一实际情况，分析幼儿师范学校英语教学现状，提出进行英语课外活动的必要性，探讨如何通过课外活动提高学生的英语水平，以适应将来工作的需要。 【关键词】英语课外活动 幼儿师范学校 幼师生 英语水平 英语基础 英语课外活动是课堂教学的重要补充形式， 开展好英语课外活动是提高学生英语水平的重要途径之一。英语课堂教学是幼
【摘 要】幼儿道德教育在幼儿园教学中占重要的地位。一个人良好品德的形成是一个长期、复杂、曲折的发展过程。幼儿期是人一生中的敏感期，是学习做人的奠基期。幼儿德育是整个德育工程的起点，德育应从小进行，从家庭和幼儿园开始，使幼儿良好的道德修养从小建立起来。 【关键词】幼儿德育 道德启蒙教育 幼儿道德教育在幼儿园教学中占重要的地位。道德教育的内容、目标、方法如何与《幼儿园工作规程》相结合，如何对幼
【摘 要】小学阶段是夯实语文基础知识的关键时期，要提高小学生的语文素养，可通过提高小学语文教师自身的知识素养、将“先学后教”的教学模式引入小学语文课堂以及做好阅读指导，在阅读中提高小学生语文素养等途径进行。 【关键词】语文素养 先学后教 阅读指导 所谓提高学生语文素养，就是要提高学生在语文方面的素质和语文理论方面的修养，包括语文基础知识、阅读、写作等方面的水平。小学阶段正是夯实语文基础知识