简要介绍了电子工业用高纯过氧化氢水溶液的应用、现状和杂质来源.综述了通过吸附、离子交换、膜分离、精馏、萃取和结晶等单一单元操作纯化制备高纯过氧化氢水溶液技术,并进行优劣势比较.指出当前高纯过氧化氢水溶液纯化技术的发展趋势是单元操作集成,重点介绍了使用较为广泛的"吸附-离子交换-膜分离单元操作集成技术"、制备高纯过氧化氢水溶液的工艺.目前国内高纯过氧化氢的生产现状是:高品质的产品较少，中低档产品较多;企业生产规模比较小，大多数还处于试验和小规模生产阶段。因此开发产品品质好、工艺安全性高、易于大规模生产的纯化工艺显得尤为重要。采用单一单元操作进行工业过氧化氢水溶液的纯化，均能在一定程度上提纯过氧化氢水溶液，但单一的方法难以实现高品质、高纯度产品的要求，且运行成本较高。多种单元操作或技术优化集成将是未来过氧化氢水溶液纯化技术的发展趋势。