【摘 要】
：
Ultralow dielectric-constant (κ) porous SiCO(H) films were prepared using C7H18O3Si (MTES) and C 10H16 (LIMO) precursors by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) and post-deposition anneal
【机 构】
：
School of Microelectronics, Fudan University, Shanghai 200433, CHINA
【出 处】
：
2016年上海市研究生学术论坛——电子科学与技术
论文部分内容阅读
Ultralow dielectric-constant (κ) porous SiCO(H) films were prepared using C7H18O3Si (MTES) and C 10H16 (LIMO) precursors by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) and post-deposition annealing.This paper well demonstrated the effect of LIMO/MTES flow rate ratio on the performance of the SiCO(H) film.When the flow rate ratio was 1.5, the SiCO(H) films exhibited the lowest κ value of 2.2 and extremely low leakage current density of 5.3×l0-9A/cm2 at 1 MV/cm, Youngs modulus of 4.23 GPa, and hardness of 0.55 GPa after annealing at 420℃ for 4 h in N2 ambient.
其他文献
本文结合西南地区典型山水城市乐山市水资源开发利用及水生态文明建设现状,分析其在水资源管理、水环境改善、水文化弘扬等方面的经验与不足,从法律制度、决策制度、管理制度、考核制度等方面综合构建全市水生态文明建设制度体系,为实现"美丽乐山·水润嘉州"的目标奠定基础,为西南地区开展水生态文明建设提供参考.
针对抚仙湖代村河流域磷石膏渣堆场目前凸显出的环境问题,本文提出采用封存处理工艺对磷石膏渣堆场进行治理,通过闭库安全设计,建立堆场表层防渗系统、排洪排水系统以及覆土复垦等一系列措施,最后使堆场恢复自然植被.该工程措施实施后,对磷石膏渣堆场磷流失防治率控制在90％以上,TP削减量48.29t/a,将从源头对抚仙湖代村河流域的磷污染源进行有效的控制.
南京市鼓楼区作为南京重要的城区,因时常发生的城市内涝已经严重地影响了南京的市民生活和城市发展.通过海绵城市的建设可以将自然湿地、河流等和城市进行有效的结合,来增加城市对旱涝灾害的调蓄能力.特别是可灵活的利用雨水景观来增强城市的排水能力.既能美化城市景观,又能减少城市内涝.
本文介绍了一种矩形波导宽边八元中心斜缝天线,并简要阐述了宽边斜缝阵列天线的理论依据和设计原则.结合谐振腔理论,利用算得的参数,借助Ansoft HFSS软件对天线进行仿真分析,通过参数优化使天线达到性能要求,且在微波解冻中得到应用.
本文介绍了一种5阶切比雪夫跨导电容(OTA-C)低通滤波器,用于接收机的模拟基带链路中.该电路采用TSMC65nm工艺,仿真结果表明该电路可实现1.5GHz的信号带宽及0-40dB可变增益,其中最大gain-step小于1dB.在0dB下的OIP3为1.4dBm,噪声系数27-30dB.在1.2V电压下功耗11mw.电路核心面积0.5mm2.
本文研究了差分激励的圆形贴片微带天线特性.腔模理论模型被扩展分析差分激励下的阻抗特性,对比HFSS仿真结果,说明扩展模型的正确性.基于HFSS仿真,比较了差分和单端激励下圆形贴片微带天线的反射,阻抗和辐射特性.比较可知,差分阻抗是单端下的阻抗的四倍,差分天线消除了TM21等模式影响,并从理论上给出了解释,因而有更纯辐射极化特性.
在集成电路工艺中,钼是新型铜互连扩散阻挡层的选择之一.已经发现甘氨酸对钼在碱性双氧水中的腐蚀有抑制作用.本文研究了在碱性双氧水中甘氨酸对钼的电化学行为的影响,并通过拉曼光谱、X射线光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)对样品进行了表面分析.开路电位(OCP)、恒电位曲线等电化学实验结果与表面分析结果相吻合.结果表明甘氨酸促进了MoO3的溶解,使得氧化层中Mo2O5增多,进而抑制Mo的腐蚀并
近年来,数模转换器的市场呈稳步上升的发展趋势.本文基于R-2R电阻网络的基本结构,设计了一种12位的高精度数模转换器,其采用温度计译码的方法对数模转换器的高位输入进行译码,并内置一种复位时间可调整的片上复位电路.所设计的数模转换器具有结构简单、面积小、功耗低等优点,适用于高密度布局电路及便携式设备和工业控制等方面.
Amorphous In-Ga-Zn-O (a-IGZO) thin-film transistors (TFTs) with an atomic-layer-deposited (ALD) SiO2 gate insulator were fabricated and compared with those with a plasma-enhanced chemical vapor deposi
This report presents a 0.18-um 2.4GHz CMOS LNA linearized using active post-distortion (APD).The differential architecture is chosen to provide sufficient common mode rejection ratio.The brief theory