【摘 要】
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微电极阵列(MEA)为神经细胞信号检测和记录的研究提供了一种多通道的高时空分辨率和高灵敏度的检测器件.由于神经细胞只能发放微伏级的微弱信号,MEA需克服因电极尺寸减小造成的阻抗增大、灵敏度和信噪比降低等问题,而这些问题可以通过对MEA表面进行微纳结构修饰得到改善.与利用电化学沉积法在电极表面修饰的铂黑等材料相比,用磁控溅射法修饰在电极表面的TiN既能呈现出微纳结构又能与微电极结合牢固,可多次重复使
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室 北京 100190;中国科学院研究生院 北京 100190
【出 处】
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第三届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会
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微电极阵列(MEA)为神经细胞信号检测和记录的研究提供了一种多通道的高时空分辨率和高灵敏度的检测器件.由于神经细胞只能发放微伏级的微弱信号,MEA需克服因电极尺寸减小造成的阻抗增大、灵敏度和信噪比降低等问题,而这些问题可以通过对MEA表面进行微纳结构修饰得到改善.与利用电化学沉积法在电极表面修饰的铂黑等材料相比,用磁控溅射法修饰在电极表面的TiN既能呈现出微纳结构又能与微电极结合牢固,可多次重复使用,且批量化操作成本较低. 本研究采用磁控溅射的方法，在自制玻璃基底铂金MEA电极表面上修饰TiN。通过以下几个方面对裸铂金电极和表面修饰TiN的铂金电极进行研究和对比分析。在扫描电镜下观察电极表面的TiN的微纳结构，对比两种电极在磷酸盐缓冲溶液(PBS)中的交流阻抗谱。在PBS中通过自制仪器引入模拟电信号，对比两种电极的噪声基线。
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