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论文在阅读大量国内外文献资料的基础上,对反射光谱法测量薄膜参数进行了系统的研究;对薄膜参数测试中常用的遗传算法,模拟退火算法的发展状况进行分析。在此基础上根据薄膜光学计算理论和最优化理论,提出了一种测量多层薄膜厚度的新的全局优化算法——GASA算法。首先利用遗传的种群性去寻找多个局部极值,然后将较优和较差的种群按一定概率接收并作为模拟退火的初值进行搜索,最后结合共轭梯度算法来提高收敛速度,使整体搜索效率进一步提高。这种新型混合遗传退火算法不仅能提高薄膜测试的稳定性,也大大拓展了薄膜参数搜索范围。