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塔式起重机绳索系统设计理论与方法的研究
【机 构】
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沈阳建筑大学
【出 处】
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沈阳建筑大学
【发表日期】
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2016年期
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光刻投影物镜作为光刻机的核心部件,投影物镜的发展就代表着光刻技术的发展。投影物镜发展的主要特征是视场越来越大,分辨率越来越高,镜片数越来越多,当然系统也越来越复杂。