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本文以2003年哈工大研制出定子直径2mm的金属柱状弯曲旋转超声波马达为基础，又进一步研制出定子直径为1mm的马达。首先，根据振动理论及物理运动学定律，建立了弯曲旋转超声波马达定子和转子间力传递的刚体模型，推导出马达的动力学特性方程，用ANSYS有限元分析软件对马达定子的各种结构建立了有限元模型，进行了模态分析，制作了两台定子直径φ1 mm马达样机，并通过实验对其进行了调试，找出其最佳激励频率，测试了其中一个微马达样机的几种输出特性；得出了该样机在工作频率为f=25kHz、激励电压Vp-p=196V的条件下，其堵转力矩TO=17.45μNm、最高空载转速N=3650 r/min。