荫罩式彩色显像管分辨率自动测试系统的研究

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该论工作的目的就是对"荫罩式彩色显像管分辨率自动测试系统"进行进一步的研究,有针对性地解决稳定性、可靠性、可操作性,根据用户提出的要求实现功能的完备性,特别是对于电子束流达到3-4MA的情况下,也能够实现束斑形貌的测量,使该测试系统达到完全实用的水平.据此论文的工作体现在:对荫罩式显像管电子束斑形貌恢复算法进行了改进,解决了实用化中遇到的各种问题,使之适用于各种测试条件.对恢复的否斑进行分析和校正,可以计算得到分辨率的实际值;通过控制测试条件,系统实现了分辨率随聚焦电压变化的"自动跟踪特性"的测试功能.实现了数据库支持和报表生成功能;根据测试数据,程序可以自动绘制分辨率随测试参数变化的特性曲线.最后,论文分析了本系统的测试误差;根据实际使用的结果,讨论了本系统与其它分辨率测试系统相比的优势.
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