磁控共溅射制备Cu掺杂ZnO薄膜的微结构、表面形貌和光电特性的研究

来源 :北京理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hepingweixiao

【摘要】

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【作者】

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刘永

【出处】

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北京理工大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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透明导电氧化物薄膜 ZnO薄膜 Cu掺杂磁控共溅射法光学性质

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