光学平面元件在光学系统和工程仪器中有着广泛的应用,也是基本的光学和光学测量对象。光学平面面形的加工精度要求随着光学行业以及相关技术领域的快速发展也愈发提高。现有的检测技术一般采用基于菲索干涉系统的仪器,但是目前使用的面形检测方法还存在许多问题:有限离散点数据无法代替全表面数据点,传统的相对测量受参考镜精度的制约,无法对高精度的平面元件进行检测,或者使用昂贵的大口径干涉仪的中心区域进行检测;任何口径干涉仪的参考面面形都会随着温度和湿度而发生变化。针对上述问题,本文提出基于移相式菲索激光干涉仪进行平面形貌绝对校准研究,旨在消除参考镜的面形误差影响,提高平面面形的测量精度,同时提高检测效率。为减少测量结果受环境和调整误差影响,本文提出四步旋转绝对测量方法,四次组合,一次旋转。设计了旋转盘保证测量时的平晶旋转角度的精度控制在秒级。为减少空气扰动带来的测量误差,设计空气流动隔离罩;基于以上实验装置设计了平面校准实验。并采用该方法对中国国家计量科学研究院的平面进行测量,测量结果与经该部门所使用的多次旋转绝对测量法的测量结果很接近。为了进一步验证是否已经实现对干涉仪的绝对校准,与经俯式干涉仪绝对校准后的实验结果进行对比,实验结果表明,经绝对校准后的干涉仪能够实现测量结果不包含参考镜面形误差,能形成闭环实现自检。与此同时,测量重复性也是衡量干涉系统好坏的重要标志,为此本文将会研究平面形貌测量重复性,分析影响测量重复性的相关误差因素。