随着传感技术在电子产品中的应用以及电子产品的迅速普及，微机电系统（MEMS）取得了突飞猛进的发展，MEMS产品也已经进入主流市场。与此同时，基于MEMS的传感器与电子电路的耦合也变得更加紧密起来。一方面微型传感器与ASIC集成于同一芯片已成为传感MEMS的必然发展趋势；另一方面微型传感器也已经步入了低功耗、低成本、小型化、集成化以及智能化的发展行列。目前，微型传感器的设计与仿真技术以及IC电路设计与制造技术已经发展的相当成熟，然而，联接微型传感器设计与IC电路设计的微型传感器宏模型提取技术的发展却相当滞后。微型传感器通常使用微型传感器计算机辅助设计工具进行设计，利用有限元工具进行功能验证；集成电路（IC）设计是通过EDA工具（如Cadence Virtuoso设计软件）来实现；对于微型传感器宏模型提取，传统的做法是设计人员手工制作Verilog-A模型以便插入到IC电路中实现系统级仿真。这些模型往往过于简单，而且非参数化，此外，创建这些Verilog-A模型不仅耗时、费力，而且需要综合运用多学科知识。由于消费电子行业的市场牵引，微型传感器朝着更多功能、更低成本和更快推向市场的方向迈进，传统的手工提取微型传感器宏模型方法的发展遇到了瓶颈。鉴于此，本文介绍一种借助软件快速、便捷的微型传感器宏模型的提取方法。文中首先介绍了微型传感器的系统设计方法，其次，介绍了微型传感器的设计仿真及微型传感器宏模型硬件语言描述，最后，说明了微型传感器封装元件与后端处理电路共同在Cadence Virtuoso Spectre设计环境中进行系统级仿真重要性，重点介绍了微型传感器的宏模型提取方法。并以微加速度传感器为例，展示了微型传感器宏模型提取方法，宏模型的硬件语言描述及封装，为微加速度传感器宏模型元件与控制处理电路一起进行系统级仿真奠定基础。