聚合物微流控芯片在生物医学等领域有广泛应用，主要成型工艺为热压成型及注塑成型，其中，具有微尺度结构的模具镶块制作是模具制造的关键。除了采用 LIGA、UV-LIGA工艺制作镍基微结构镶块以外，还可利用电火花成形技术（EDM）在高硬度模具钢镶块上实现微结构加工，这种方法不仅可以降低微流控芯片模具的制作成本，还可以延长模具使用寿命。目前，由电加工制作的微结构镶块，基本达到了使用要求，但仍存在由电加工异常放电导致的加工表面质量不尽如意等问题。因此，研发一种提高微尺度结构常规电火花加工质量的方法具有重要意义。　　为此，为提高模具工件表面加工质量，在综合现有超声电火花复合加工方式的基础上，本文提出了一种新型超声振动电火花工作液的加工方式，将超声换能器放置于电火花工作液中，在一定超声作用范围内，通过液体的空化作用，促进加工过程中电蚀产物排出，从而减少工件表面存在的不良放电现象，达到改善表面质量的目的。　　首先，根据超声空化作用特点，通过数值模拟探究超声参数（超声频率、超声声压幅值）及液体性质对电火花工作液中空化气泡运动行为的影响，以空化气泡产生溃灭为前提，得到可选超声参数范围，为超声在电火花工作液中的运用提供了理论支撑。　　其次，应用上述模拟结果，利用铝箔腐蚀法探究超声作用在电火花工作液中的空化场分布，了解超声作用在电火花工作液中的衰减规律，确定了超声的作用范围，为后续超声振动电火花工作液加工试验提供了参考。　　最后，根据以上数值模拟和铝箔试验的结果，以NAK80模具钢为试验对象，试验探究三种超声频率的空化作用对工件表面微观结构的影响。试验结果表明，超声振动电火花工作液加工方式通过促进电加工中电蚀产物的运动，可以减少异常放电的发生，减少由积碳及二次重熔金属造成的表面质量问题，从而提高工件表面微观形貌的均一性，改善工件的加工质量。