为了防护容易破碎的太阳能电池材料，通常在光伏电池表面增加一个光学防护层。然而，防护层会反射一部分入射光，进而影响太阳能电池的光电转换效率。因此，需要对防护层介质进行技术处理实现减反射，减少这部分光损失，目前技术处理的方式之一是在光伏电池表面的防护层上刻蚀光栅结构。本论文从等效介质理论与光学薄膜理论出发，对光栅表面的反射率公式进行了推导。通过数值模拟与理论分析研究了光栅结构参数对反射率的影响，得到了实现大角度、宽光谱范围光的减反射的光栅结构参数。论文研究取得的主要结果如下：1、在等效介质理论基础上，根据电磁理论得到的亚波长光栅的折射率公式以及菲涅尔公式，进一步得到光栅表面反射率的表达式以及影响光栅反射率的几个重要参数的表达式。根据这几个表达式，可以确定减小光栅反射率的方法和途径。2、减反射光栅的主要参数包括位相、刻蚀深度、占空比等。其中，位相主要由刻蚀深度与占空比来确定；刻蚀深度由入射光波长来确定；占空比由入射介质与基底材料来确定。由理论推导得到的关键公式可知：刻蚀深度与波长成正比。即:为了保证整个可见光范围内不同波长的光均有最低反射率,光栅表面不应该是平面,而应该是一个斜面,斜率为0.61。3、通过理论推导得到的光栅结构参数值，发现不同偏振光入射到一维亚波长光栅层的占空比大小不同，效果上类似于一个二维光栅。即，从减反射的角度讲，二维亚波长光栅的结构形貌更为合理。