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1982年,第一台扫描隧道显微镜(STM)的问世,使得人类首次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态。但由于其只能用来直接观察和研究导体和半导体样品的表面,存在很大的局限性,原子力显微镜(AFM)应运而生。经过十几年的技术改进,凭借其纳米量级的精度和不受样品表面导电性限制的优势奠定了它作为一种独立的表面分析仪器的地位,其应用随着纳米科技热的兴起而日益引起人们的重视,仪器本身的稳定性、图像质量、操作的简便性以及应用领域的拓展和产业化也越来越受到关注。本次论文工作首先回顾了原子力显