【摘 要】
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该论文系统研究了金属膜/纳米介质膜/Si结构的可见或近红外电致发光,其中的纳米介质膜有如下几种:自然氧化硅,SiO,SiO:Si,SiO:Si:Al,SiO:Si:Er等.得出一些创新的实验成果,概
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该论文系统研究了金属膜/纳米介质膜/Si结构的可见或近红外电致发光,其中的纳米介质膜有如下几种:自然氧化硅,SiO<,2>,SiO<,2>:Si,SiO<,2>:Si:Al,SiO<,2>:Si:Er等.得出一些创新的实验成果,概括如下:1,电子辐照和在氧化层中掺铝对Au/SiO<,2>:Si/p-Si结构的电致发光的影响.2,用经快速退火的自然氧化硅膜制成的二极管的电致发光.3,掺铒富硅氧化硅的1.54μm电致发光.对上述发光结构和效应进行的系统研究所获创新结果对于阐明硅基电致发光的机理有重要的参考价值;对硅基发光向实用化发展有一定的推动作用.
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