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目前,光谱椭偏测量仪正朝着更小的探测光斑、更短更宽的波段范围方向发展。微光斑适应现代半导体工艺尺寸越来越小的发展要求,对微尺寸结构的测量,可以通过扫描方式来获取其微结构信息,它对集成电路制造过程中的工艺及关键尺寸(CD)的检测具有重要意义。深紫外波段对某些特殊的材料具有更敏感的性质变化,利用深紫外波段的特殊性质变化,就可以更灵敏地探测这些特殊材料并研究其性质。更宽波段的光谱范围可更全面地研究材料的光学性质,同时提供更多波长下的光谱数据,提高测量结果的准确性。本论文研制了一种新型宽光谱椭偏测量仪,采用