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压电式微操作平台广泛应用于集成电路制造、医疗科学、微机械制造、光学处理等前沿领域,要求其具有精度高、响应快、稳定性好等性能。由于压电驱动器的迟滞现象会使微操作平台出现非线性问题,严重影响了其运动精度和动态性能,迟滞模型的建立与控制策略研究是微操作平台亟待解决的关键问题。本文以一维微操作平台为对象,分别从复合控制、单神经元PID控制、模糊控制三种控制策略进行运动跟踪控制研究,主要内容如下:建立了压电驱动器的迟滞模型。为了提高压电驱动器的控制精度,提出一种基于Preisach模型与支持向量机的联合建模方