随着TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)技术的逐渐成熟,LCD(液晶显示器)的使用正变得越来越广泛。然而,在LCD广阔需求带来的大规模生产之外,我们也不得不考虑生产过程中的一些问题。IPA(异丙醇)的使用超标可能会造成严重的环境问题。譬如,IPA是一种低沸点易挥发的易燃物质,其闪点只有126.7℃,遇热或火焰容易爆炸;IPA有毒,其毒性介于甲醇和乙醇之间,吸入过量IPA蒸气可能危害人体健康;此外,IPA蒸气受阳光照射还会形成臭氧,其光化学烟雾会刺激人的眼睛和呼吸系统,危害人体健康及植物生长。IPA是一种对环境、人体均有害的化学品,这就需要设法对IPA用量进行消减,以使IPA排放量合乎规格。本文首先总体介绍了液晶显示器的发展及制造流程,着重讲述了阵列的制作过程与剥离工艺。为了获得稳定良好的剥离效果,目前行业内主要使用溶剂系剥离液进行剥离。由于溶剂系剥离液中一般含有Amine(铵)的成份,而Amine水解生成的OH-(碱离子)会与Gate(栅极)中的Al(金属铝)反应,造成Al腐蚀,影响产品质量,因此一般剥离工艺在剥离单元之后通常都会使用IPA进行剥离液的置换,以去除剥离后玻璃基板表面残存的有机成分,并防止基板上的剥离液在水洗槽水解后与Al反应造成的Al腐蚀。但是,这种剥离方法在产能提升时,其IPA用量及排废量会有较大提高。这会对废水的处理能力造成重大压力,影响环境及生产。本文从工艺及设备等角度先后提出了四个备选方案,通过对工艺及设备改造成本的综合考虑,最终选定方案四(使用不含IPA的新溶剂系剥离液进行剥离)来实现IPA消减。本方案以极低的设备改造成本,取缔了IPA药液的使用,并确保了产品质量不会下降,在环境保护及成本节省上,都具有重要意义。此外,由于是中国大陆第一家在DNS剥离机上对配套剥离方法(ST-105+IPA)进行IPA消减尝试的公司,本方案具有一定的指导意义和参考价值,可以使其他面临类似问题的企业节省大量的生产成本。