【摘 要】
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该文作者在纵观了机器人传感器技术,MEMS技术,真空微电子传感器技术的发展概况之后,认识到机器人传感技术的主要发展方向是由单一传感转向阵列传感,融合式传感,智能传感,微型
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该文作者在纵观了机器人传感器技术,MEMS技术,真空微电子传感器技术的发展概况之后,认识到机器人传感技术的主要发展方向是由单一传感转向阵列传感,融合式传感,智能传感,微型传感.特别是能耐高低温、抗辐射、高速度、低功耗、低电压、高密度、高精度的触觉传感器的研究显得更为迫切.该文首次创造性地提出利用MEMS技术、微电子技术和真空电子技术相结合的方法,将硅微场致发射阴极锥尖阵列,真空微腔,仿人肌肤阳极膜构成的触觉敏感元以高密度的方式与信号读出电路实现一体化三维集成的新思想,从而构成一种新型的耐高低温、抗辐射、高速度、高密度、低电压、低功耗、高灵敏、微型化的集成真空微电子触觉传感器阵列,以满足特种智能机器人的触觉要求.
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