【摘 要】
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单点金刚石车削技术已广泛应用于制造衍射表面。本文在总结前人研究工作的基础上,介绍了金刚石车削和衍射光学技术国内外的发展状况和趋势,综述了衍射光学元件的基础理论及其
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单点金刚石车削技术已广泛应用于制造衍射表面。本文在总结前人研究工作的基础上,介绍了金刚石车削和衍射光学技术国内外的发展状况和趋势,综述了衍射光学元件的基础理论及其加工技术,对衍射元件的金刚石单点车削技术中有关工艺参数及其对元件性能的影响进行了探讨,并分析了金刚石车削刀具刀尖半径和车削进给量对衍射元件微结构形状的影响;从加工表面粗糙度引起的光的散射出发,分析了刀具刀尖半径、进给量和散射量之间的关系,给出了定量分析结果;再结合衍射元件加工中的遮挡效应、加工时间等问题,给出了加工过程中选取刀具刀尖半径和车削进给量的一般性原则。本课题的研究工作规范了利用金刚石车削技术加工衍射光学元件的工艺过程,为衍射光学元件的实用化奠定了工艺基础。
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