【摘 要】
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本文设计并采用直流磁控溅射技术,制备了无定形碳氮基的纳米复合薄膜(纳米晶粒镶嵌的碳氮基的TiCN薄膜)以及纳米多层结构薄膜(TaN/a-CNx纳米多层膜),并对薄膜组织结构和机械性能的变化规律进行了系统的研究。1.在溅射气压不变的条件下改变氮气和氩气的流量比,通过磁控溅射Ti-C复合靶材,制备了不同组分和结构的TiCN纳米复合薄膜。通过XPS分析,发现随着氮气流量增加,薄膜中N含量增加,C含量降低
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本文设计并采用直流磁控溅射技术,制备了无定形碳氮基的纳米复合薄膜(纳米晶粒镶嵌的碳氮基的TiCN薄膜)以及纳米多层结构薄膜(TaN/a-CNx纳米多层膜),并对薄膜组织结构和机械性能的变化规律进行了系统的研究。1.在溅射气压不变的条件下改变氮气和氩气的流量比,通过磁控溅射Ti-C复合靶材,制备了不同组分和结构的TiCN纳米复合薄膜。通过XPS分析,发现随着氮气流量增加,薄膜中N含量增加,C含量降低,Ti含量几乎不变。结合XRD、XPS分析以及平面HRTEM的观察,发现未通入氮气时,薄膜组成为
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