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精密定位技术应用非常广泛,它在纳米技术、生物工程、光学组件定位等技术研究领域中的基础性关键技术,在这些领域中发挥着重要作用,也是保证精密定位的关键技术支撑。同时精密定位技术在科学技术发展的今天,应用领域得到了进一步的扩展,这使得精密定位平台的定位精度要求越来越高。因此,研究高精度的精密定位平台有着非常重要的理论价值和实际意义。本文在以柔性并联机构为理论指导的基础上,结合拓扑学理论对于所设计的分布柔度式平面柔顺机构的综合性能进行分析,并设计控制器对分布柔度式平面柔顺机构动平台的跟踪轨迹精度进行控制。具