碳化硅反射镜反射性能研究及膜系设计

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随着世界各国在空间领域竞争的日益激烈,对空间探测能力提出了更高的要求。碳化硅作为21世纪重点发展的太空反射镜材料,对空间探测能力具有重要的影响,因此研究空间镜片的光学性能并为镜片设计出合理优异的膜系具有重要的军用、民用和经济价值。而反应烧结碳化硅因其成本低、生产周期短的优点在各种碳化硅反射镜制备工艺中崭露头脚。本文采用Material Studio软件和洛仑兹理论分析了反应烧结制备的碳化硅反射镜的折射率,并在此基础上使用MATLAB软件研究了碳化硅反射镜在可见和近红外波段的反射性能,结果显示,其反射率位于24.59%-20.85%之间,并且随着波长的增加而递减。理论值变化趋势与试验变化趋势相同。为满足530(±15)nm和830(±15)nm双波段高反射的特定要求,分别采用金属反射膜系和金属增强反射膜系方案实现。从薄膜理论出发,设计出的膜系结构分别为:基体|Ni-Cr+Ag+SiO2|空气和基体|Ni-Cr+Ag+(SiO2/Ta2O5S|空气。利用矩阵法在MATLAB软件中设计优化了各膜层结合厚度以及最佳膜层数量,得到理想反射曲线。其中,金属反射膜系在530nm和830nm的反射率分别为98.14%和98.84%;金属增强反射膜系在530nm和830nm处的反射率分别为99.76%和99.9%。采用电子束加热真空蒸镀的方法镀制金属反射膜系和金属增强反射膜系,并使用分光光度计测试膜系的反射率,得出理论反射曲线与试验反射曲线的变化趋势一致。说明本文的膜系设计理论具有很好的应用价值,对碳化硅反射镜今后更广泛的应用奠定了基础。
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